LECLAIRE P について
CRHEA, CNRS, Valbonne, FRA について
LECLAIRE P について
IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA について
FRAYSSINET E について
CRHEA, CNRS, Valbonne, FRA について
MORELLE C について
IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA について
CORDIER Y について
CRHEA, CNRS, Valbonne, FRA について
THERON D について
IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA について
FAUCHER M について
IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA について
Journal of Micromechanics and Microengineering について
アルミニウム化合物 について
窒化ガリウム について
共振器 について
MEMS について
エピタクシー について
素子構造 について
ヘテロ接合 について
引張応力 について
共振周波数 について
圧電素子 について
比率 について
ゲージ について
バッファ層 について
AlGaN/GaN について
MEMS共振器 について
NEMS について
エピタキシャル について
ゲージ率 について
ヘテロ構造 について
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共振器 について
13-15族化合物を含む半導体-半導体接合 について
Si について
エピタキシャル について
GaN について
ヘテロ構造 について
圧電 について
MEMS共振器 について