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J-GLOBAL ID：201702221208873481   整理番号：17A0991594

太陽電池エミッタ用ボロン拡散の系統的最適化

Systematic Optimization of Boron Diffusion for Solar Cell Emitters

著者 (8件)： EBRAHIMI P. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  KOLAHDOUZ M. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  IRAJ M. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  GANJIAN M. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  AGHABABA H. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  AGHABABA H. (Univ. Tehran, Qom, IRN) ,  ASL-SOLEIMANI E. (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  RADAMSON Henry H. (KTH Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 46  号： 7  ページ： 4236-4241  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： n型c-Siウェーハに基づく太陽電池は,標準的なp型Siデバイスよりも明らかな利点を提供するので,ますます関心を集めている。本稿は以下のように構成されている。「実験手順」セクションでは,この研究の実験部分について説明する。「結果と討論」のセクションでは,結果を示し,プロセスパラメータの影響について説明する。n型単結晶太陽電池のエミッタ形成を系統的に調査し,セル開発のための最良のプロファイルを達成した。各出力の入力間の相互作用の効果も,2レベルの階乗法を用いて定量化およびモデル化された。この統計的手法は,所望の電気特性を有する特定のドーパントプロファイルを得るために必要な試行回数を最小にした。本研究で検討した4つの入力のうち,拡散温度とBBr₃の流れは,キャリアライフタイム,接合深さ,シート抵抗,および最終表面濃度などの異なる出力に最も大きな影響を及ぼすことが判明した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *エミッタ【半導体】 ,  *ホウ素 ,  *ドーピング ,  *キャリア寿命 ,  シート抵抗 ,  接合 ,  最適化
準シソーラス用語： 結晶シリコン太陽電池 ,  ボロン ,  プロセス最適化

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 太陽電池 ,  エミッタ ,  ボロン ,  拡散 ,  系統 ,  最適化