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J-GLOBAL ID：201702221249682093   整理番号：17A0884222

擬3次元微細構造のための反応拡散媒介フォトリソグラフィー【Powered by NICT】

Reaction-Diffusion-Mediated Photolithography for Designing Pseudo-3D Microstructures

著者 (4件)： Kim Ju Hyeon (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK21+ Program), KAIST, Daejeon, 305-701, Korea) ,  Je Kwanghwi (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK21+ Program), KAIST, Daejeon, 305-701, Korea) ,  Shim Tae Soup (Department of Chemical Engineering and Department of Energy System Research, Ajou University, Suwon, 16499, Republic of Korea) ,  Kim Shin-Hyun (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK21+ Program), KAIST, Daejeon, 305-701, Korea)
資料名： Small  (Small)
巻： 13  号： 17  ページ： ROMBUNNO.201603516  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2348A  ISSN： 1613-6810  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3D特徴の微細構造は,多くの応用における先進的機能性を提供する。反応-拡散プロセスは再現性ある方法で偽3D微細構造を生成するためにフォトリソグラフィーで使用されている。本研究では,高分子構造の成長挙動に及ぼす種々のパラメータの影響を調べ,反応拡散媒介フォトリソグラフィー(RDP)の使用は,広範囲の構造寸法のために拡張した。さらに,レンズ効果は反応-拡散プロセスと結合した微細構造の成長挙動を如何に変化させるかを研究した。アレイ中の反応サイト間の小さい分離では,紫外(UV)曝露時間は膜またはプラトー形成を回避するための分離と共に最適化した。RDPプロセスは高度に再現性があり,種々の光硬化性樹脂に適用できることを証明した。実証目的では,マイクロレンズアレイとしてRDPプロセスによって作られたミクロドーム構造の使用を示した。RDPプロセスは複雑な光学装置の不在下でコリメートしたUV光でも偽3D微細構造の製造を可能にし,ユニークな構造的特徴を有するマイクロパターンと粒子を作成するために有用な手段として役立つ可能性がある。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最適化 ,  光学器械 ,  *三次元 ,  光重合型樹脂 ,  拡散過程 ,  紫外線 ,  *微細構造 ,  再現性 ,  構造特性 ,  *フォトリソグラフィー ,  ドーム構造
準シソーラス用語： マイクロパターン ,  マイクロレンズアレイ ,  曝露時間 ,  機能性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 3D微細構造 ,  酸素阻害 ,  フォトリソグラフィー ,  ラジカル重合 ,  反応-拡散

分類 (2件)： 細胞生理一般  (EF02010S) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3次元 ,  微細構造 ,  拡散 ,  フォトリソグラフィー