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J-GLOBAL ID:201702221294258485   整理番号:17A1020021

Ca_3Ta(Ga_1Al-4x)_3Si_2O_14単結晶の化学組成,格子定数,および音響特性の間の関係【Powered by NICT】

Relationships among chemical composition, lattice constants, and acoustic properties for Ca3Ta(Ga1- Al x )3Si2O14 single crystals
著者 (13件):
資料名:
巻: 468  ページ: 376-381  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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格子定数a,Al含有量,および音響特性の間の関係をCzochralski法で成長させたCa_3Ta(Ga_0 0.75Al_0 0.25)3Si_2O_14[CTGAS(0.25)]単結晶から調製したY軸に垂直な板試験片を用いて実験的に調べた。音響特性として,Y軸方向に沿って伝搬する異なる伝搬方向,X線及びZ伝搬,縦波速度と漏れ弾性表面波(LSAW)速度は,線焦点beam/plane波超音波材料解析(LFB/PW UMC)システムで測定した。LSAW速度分布の測定結果は,インゴットの中心で低速度領域を示す結晶インゴットの半径方向の不均一性を明らかにした。添加では,格子定数aと化学組成(特にAl含有量)の分布は半径方向に沿って測定した。化学組成変化の影響よりも他の結晶インゴットの中央部に集中した残留応力の存在を示唆する異常な変化を測定パラメータ間の関係から検出された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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半導体の結晶成長 
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