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J-GLOBAL ID：201702221685369302   整理番号：17A0635599

温度制御システムと一体化した薄膜バルク音響共振器ベースの高性能圧力センサ

A film bulk acoustic resonator-based high-performance pressure sensor integrated with temperature control system

著者 (7件)： ZHANG Mengying (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHANG Mengying (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHAO Zhan (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHAO Zhan (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  DU Lidong (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  FANG Zhen (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  FANG Zhen (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 4  ページ： 045004,1-10  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センサとしての音波デバイスの例は,温度,ガス,質量,光,圧力,および他の検出用途について発表されている。これらのセンサを使用して圧力を検出すると,構造内に歪みと応力が発生し,固有振動数が変化する。本研究では,FBAR差圧センサが設計され,感度が向上し,直線性が改善された。センサチップに温度制御システムを組み込んだ。発振回路と温度制御回路を検出用に製作した。共振器領域の下の支持膜を除去することにより,その圧力に対する感受性が-0.967kHzhPa^-1まで向上した。すなわち-0.69ppm hPa^-1であり,これは既存の設計より19%高かった。その線形性は,文献で報告されている他の音響波圧力センサよりもはるかに優れており,直線性誤差は±0.35%以内であった。提示されたFBAR圧力センサは,ダイアフラムの構造と材料を組み合わせ,設計の最適化により高感度と優れた直線性を実現した。抵抗温度センサと抵抗ヒータを共振器と一体化して,動作温度を監視して制御した。

シソーラス用語： *温度制御 ,  *音響共振器 ,  *圧力センサ ,  補強部材 ,  高感度 ,  線形性 ,  *温度センサ ,  *抵抗加熱
準シソーラス用語： 薄膜バルク音響共振器 ,  ダイヤフラム【構造要素】 ,  直線性

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  恒温・昇温装置一般  (AD06051T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 温度制御システム ,  薄膜バルク音響共振器 ,  高性能 ,  圧力センサ