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J-GLOBAL ID：201702221909182758   整理番号：17A1276490

MEMSセンサ設計されたフルカスタムにおける運動依存寄生の解析のための新しい方法【Powered by NICT】

A new method for the analysis of movement dependent parasitics in full custom designed MEMS sensors

著者 (5件)： Hald Axel (Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany) ,  Seelhorst Johannes (Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany) ,  Herzogenrath Pekka (Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany) ,  Scheible Jurgen (Reutlingen University, Robert Bosch Center for Power Electronics) ,  Lienig Jens (Dresden University of Technology, Institute of Electromechanical and Electronic Design)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SMACD  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 洗練されたマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)コンポーネントライブラリが不足しているため,高度に最適化されたMEMSセンサは現在多角形駆動設計フローを用いて設計した。この設計フローの強度は,有限要素(FE)モード解析による多角形の正確な機械的シミュレーションである。有限要素モード解析の結果は,(機械的)静的静電解析のデータと共にシステムモデルに含まれている。しかし,システムモデルは動的寄生静電効果,配線及び移動構造間の電気的結合から生じるを欠いていた。システムモデルにおけるこれらの効果を含めるためには,センサ構造の面内運動に関して準動的寄生抽出を可能にする方法を示した。法は標準EDAツールを用いた多角形駆動MEMS設計フローに埋め込まれている。作製プロセスの影響を考慮するために,エッチングプロセス変動のような,この方法はFEモード解析と製造プロセスシミュレーションデータを組み合わせたものである。これは機械構造物の運動に関する動的変化静電寄生効果の分析を可能にする。さらに,結果は,システムモデル機械構造物への静電寄生効果の正のフィードバックのシミュレーションを可能にするに含めることができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： システムモデル ,  生産工程 ,  モード解析 ,  *センサ ,  *MEMS ,  機械構造物 ,  エッチング ,  最適化 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： 寄生効果 ,  動的変化 ,  プロセス変動 ,  有限要素 ,  設計フロー ,  *MEMSセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMSセンサ ,  設計 ,  運動 ,  寄生 ,  解析