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J-GLOBAL ID：201702222412268677   整理番号：17A1474999

ナノ・マイクロ加工

Nano/Micro Processing

著者 (1件)： 古島剛 (東京大学 生産技術研究所)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 58  号： 680  ページ： 792-796(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,ナノ・マイクロ加工分科会としての年間展望を行った。ナノ・マイクイロ加工関連の加工プロセス,金型・表面処理,材料開発,材料評価・計測技術,トライボロジー,関連機械,シミュレーションの各観点から2016年において国内外で発表された研究開発について紹介した。主な特徴としては,超音波の採用による加工力や摩擦力の低減やレーザによる局部加熱や衝撃を塑性加工に応用したナノ・マイクロスケール特有の研究例が多数報告されている。また,金型表面に対する効果的な表面テクスチャリング手法が数多く報告されており,今後も注目されるものと考えられる。

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,  *マイクロマシニング ,  *塑性加工 ,  *技術開発 ,  技術予測 ,  金型 ,  表面処理 ,  トライボロジー ,  計算機シミュレーション ,  表面改質 ,  プレス加工 ,  打抜 ,  鍛造 ,  超音波加工 ,  *特殊成形 ,  レーザ加工 ,  レーザ照射 ,  化学蒸着 ,  イオン窒化 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  有限要素法 ,  *MEMS
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  DLC【炭素】 ,  インクリメンタルフォーミング ,  レーザ衝撃加工 ,  レーザ表面処理 ,  技術動向 ,  材料開発 ,  材料評価 ,  表面テクスチャリング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (108件)：

• 1) 楊明:ナノマイクロ加工技術分野のビジョン, 塑性と加工, 57-668 (2016), 856-861.
• 2) Behrens, G. et al.:Influence of tool geometry variations on the limiting drawing ratio in micro deep drawing, Int. J. Mater. Form., 9 (2016), 253-258.
• 3) Ma, J. et al.:Microdeep drawing of C1100 microsquare cups using microforming technology, Int. J. Adv. Manuf. Technol., 82 (2016), 1363-1369.
• 4) Li, W. T. et al.:Grain size effect on multi-stage micro deep drawing of micro cup with domed bottom, Int. J. Precis. Eng. Manuf., 17 (2016), 765-773.
• 5) Oh, Y.-S. et al.:Progressive two-stage forming process for MCFC corrugated plates, Proc. AWMFT2016, (2016), CD-ROM.

タイトルに関連する用語 (1件)： マイクロ加工