Wang Yanlei について
National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, PR China について
Wang Yanlei について
Department of Microelectronics and Nanoscience, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, PR China について
Zhang Congchun について
National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, PR China について
Zhang Congchun について
Department of Microelectronics and Nanoscience, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, PR China について
Li Juan について
National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, PR China について
Li Juan について
Department of Microelectronics and Nanoscience, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, PR China について
Ding Guifu について
National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, PR China について
Ding Guifu について
Department of Microelectronics and Nanoscience, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, PR China について
Duan Li について
Key Laboratory for Thin Film and Micro Fabrication of the Ministry of Education, PR China について
Duan Li について
Department of Microelectronics and Nanoscience, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, PR China について
Vacuum について
酸素 について
酸化スズ について
結晶構造 について
原子間力顕微鏡 について
薄膜 について
化学量論 について
RFスパッタリング について
高温試験 について
温度センサ について
X線回折 について
アルゴン について
キャラクタリゼーション について
優先配向 について
走査電子顕微鏡 について
温度係数 について
ITO について
薄膜 について
滞留時間分布(RTD) について
TCR について
センサ について
酸化物薄膜 について
半導体薄膜 について
ITO薄膜 について
温度検出器 について
作製 について
特性評価 について