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J-GLOBAL ID:201702225271367290   整理番号:17A0211814

Si-CrおよびSi-Cr-M(M=Al,Ni,など)溶媒の炭素溶解度測定

Measurement of Carbon Solubility in Si-Cr and Si-Cr-M (M=A, Ni, etc.) based Solvents
著者 (6件):
資料名:
巻: 11  号:ページ: 134  発行年: 2016年12月09日 
JST資料番号: L7066A  ISSN: 1881-5316  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
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