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J-GLOBAL ID：201702225397430830   整理番号：17A0890286

平面回折格子迷光測定のための広帯域可変開口の高分解能散乱計の検討

Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement

著者 (8件)： YANG Jin (Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN) ,  YANG Jin (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHANG Rui (Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN) ,  ZHANG Rui (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  YIN Lu (Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN) ,  YIN Lu (Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  SUN Ci (Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN) ,  LI Tianjiao (Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 56  号： 2  ページ： 247-255  発行年： 2017年01月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *散乱計 ,  *光学的測定 ,  高分解能 ,  広帯域 ,  開口 ,  可変性 ,  *回折格子 ,  *迷光 ,  平行平面 ,  パワースペクトル密度 ,  分布関数 ,  ダイナミックレンジ ,  力学モデル ,  回折効率
準シソーラス用語： 双方向反射率分布関数

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 回折格子 ,  迷光 ,  広帯域 ,  可変 ,  高分解能 ,  散乱計