Edmonds Mary について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Sardashti Kasra について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Wolf Steven について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Chagarov Evgueni について
Department of Chemistry and Biochemistry, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Clemons Max について
Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Kent Tyler について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Park Jun Hong について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Tang Kechao について
Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA について
McIntyre Paul C. について
Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA について
Yoshida Naomi について
Applied Materials, Sunnyvale, California 94085, USA について
Dong Lin について
Applied Materials, Sunnyvale, California 94085, USA について
Holmes Russell について
Rasirc, Inc., San Diego, California 92126, USA について
Alvarez Daniel について
Rasirc, Inc., San Diego, California 92126, USA について
Kummel Andrew C. について
Materials Science and Engineering Program, University of California, San Diego, La Jolla, California 92093, USA について
Journal of Chemical Physics について
化学蒸着 について
ケイ素 について
ゲルマニウム について
基板 について
拡散 について
拡散障壁 について
窒化ケイ素 について
基板温度 について
前駆体 について
X線光電子分光法 について
結合エネルギー について
ケイ素化合物 について
酸化ケイ素 について
塩化窒素 について
Fermi準位 について
スペクトロスコピー について
密度汎関数法 について
層 について
欠陥 について
欠陥密度 について
薄膜コンデンサ について
塩化ケイ素 について
ヒドラジン について
薄膜成長 について
表面準位 について
状態密度 について
原子層堆積 について
保護層 について
界面拡散 について
走査トンネル分光法 について
中間層 について
界面欠陥 について
MOSキャパシタ について
界面準位 について
準位密度 について
気相めっき について
界面 について
拡散障壁 について
低温 について
ALD について
保護層 について