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J-GLOBAL ID：201702226586808743   整理番号：17A1258605

光波散乱計測モデル参照のためのTMUに基づく解析の実際的側面【Powered by NICT】

Practical aspects of TMU based analysis for scatterometry model referencing

著者 (10件)： Hartig Carsten (GLOBALFOUNDRIES, United States of America) ,  Urbanowicz Adam M. (NOVA EU, Dresden, Germany) ,  Vaid Alok (GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY, US) ,  Ebersbach Peter (GLOBALFOUNDRIES, United States of America) ,  Fischer Daniel (GLOBALFOUNDRIES, United States of America) ,  Melzer Robert (GLOBALFOUNDRIES, United States of America) ,  Sanchez Francisco (NOVA EU, Dresden, Germany) ,  Mezerette David (NOVA US, San Jose, CA, USA) ,  Katz Yinon (NOVA HQ, Rehovot, Israel) ,  Sendelbach Matthew (NOVA US, San Jose, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MIPRO  ページ： 34-39  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光波散乱計測モデル参照のためのMandel回帰に基づくTMU(全測定不確実性)分析の利用を検討した。基準計測不確実性は,TMU解析を強制無効領域に散乱モデルのそれを超えると思われる実際の事例を実証した。この結果の源は,参照不確実性の誤った推定であることを知り,参照計測の誤差を減らし,標準不確実性推定を改善することに焦点を当てた。基準計測ハードウェアと処方と同様に全参照計測装置の実用面で求めている。CD-SEM及びA FM計測学だけでなく,生産環境におけるOCD(Optical Critical Dimension)モデルを適正化する他の方法を詳細に論じた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *散乱 ,  ハードウェア ,  不確実性 ,  最適化
準シソーラス用語： 測定の不確かさ ,  *光波散乱計測 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光波散乱計測 ,  モデル ,  参照 ,  TMU ,  解析