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J-GLOBAL ID：201702226617295327   整理番号：17A1829567

Ag/a Cの蒸着Ag表面濃縮とHナノ複合材料膜【Powered by NICT】

Deposition of Ag/a-C:H nanocomposite films with Ag surface enrichment

著者 (8件)： Vaidulych Mykhailo (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Hanus Jan (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Steinhartova Tereza (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Kylian Ondrej (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Choukourov Andrei (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Beranova Jana (Faculty of Science, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Khalakhan Ivan (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic) ,  Biederman Hynek (Faculty of Mathematics and Physics, Charles University, Prague, Czech Republic)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 14  号： 11  ページ： ROMBUNNO.201600256  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ複合材料膜Ag/a C:Hはガス凝集源(GAS)とa-C:HマトリックスのPECVD蒸着によるAgナノ粒子の堆積を組み合わせた真空ベース法により調製した。マトリックスはガスからのAg NPsのビームが直面している入力RF電極上に置かれた基板上にArとn-ヘキサンの混合物中で析出した。異方性プラズマエッチングを用いてコーティングの表面上のAg濃度を増加させることであった。皮膜の化学組成とAgナノ粒子のサイズに及ぼす三つの型のプラズマの影響を記述した。最良のエッチング選択性と,最も高いAg表面濃度は低圧酸素プラズマに基づく試料のエッチングの場合で達成されたことを示した。この処理で,作製した被膜の短期抗菌効率を向上させた。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： エッチング ,  被覆 ,  *銀 ,  プラズマエッチング ,  プラズマ ,  化学組成 ,  *ナノ複合材料 ,  皮膜 ,  *複合膜 ,  異方性 ,  プラズマCVD ,  アルゴン ,  ナノ粒子
準シソーラス用語： 酸素プラズマ ,  銀ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 抗菌コーティング ,  ガス凝集源 ,  硬質皮膜 ,  ナノ複合材料 ,  のナノ粒子

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： Ag ,  蒸着 ,  濃縮 ,  複合材料膜