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J-GLOBAL ID：201702226679390830   整理番号：17A1772432

大きな面内変位を用いたシェブロン電気-熱アクチュエータに基づいたSU-8マイクロピンセット【Powered by NICT】

An SU-8 micro-tweezer based on the chevron electro-thermal actuators with a large in-plane displacement

著者 (4件)： Voicu R-C. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies - IMT Bucharest, 126A, Erou Iancu Nicolae Street, Bucharest-Voluntari, Romania) ,  Tibeica C. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies - IMT Bucharest, 126A, Erou Iancu Nicolae Street, Bucharest-Voluntari, Romania) ,  Muller R. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies - IMT Bucharest, 126A, Erou Iancu Nicolae Street, Bucharest-Voluntari, Romania) ,  Dinescu A. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies - IMT Bucharest, 126A, Erou Iancu Nicolae Street, Bucharest-Voluntari, Romania)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CAS  ページ： 105-108  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,生体適合性ポリマー,SU-8を用いて製造したマイクロピンセットの設計,シミュレーション,作製,特性評価および変位測定を提案した。マイクロピンセットである電熱作動と設計V字型配置に基づいている。測定を適用して0.74Vで70.5sとmのマイクロピンセットチップの最大面内開口を示す面外たわみは作動中0.1Sとm以下に留まる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気加熱 ,  *アクチュエータ ,  変位測定 ,  たわみ ,  生体適合性高分子 ,  開口 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： *SU-8 ,  *面内変位 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 面内変位 ,  アクチュエータ ,  SU-8 ,  ピンセット