抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
水圧電磁比例制御バルブは,作動流体に「清水」を用いていることから高い環境性と安全性を必要とするシステムに適しており,特に食品加工機械,半導体製造装置への応用が期待される。筆者らは,既報において,本バルブを補償回路部,ソレノイド部,案内弁部の3つの要素に分けて,要素ごとに,実験的及び解析的に伝達関数を定義し,バルブ性能へ及ぼす設計パラメータの影響を検証してきた。本バルブは,潤滑性の乏しい水を作動流体としているため,その構造的特徴である静圧軸受けと減衰力発生用の絞り(以下,減衰絞り)は,それぞれ,スプールの磨耗・摩擦の防止,スプール動作の安定化の機能を有している。しかし,これらの静圧軸受けと減衰絞りはスプール動作に対してその構造から,前者は応答性に効果的なメータイン回路,後者は減衰性に効果的なメータアウト回路を構成し,これらは目的に応じて機能を仕分けする。本報では,バルブ全体の特性に大きく影響を及ぼすと考えられるソレノイド部と案内弁部で表される開ループ伝達関数に着目し,静圧軸受けと減衰絞りの幾何学的パラメータの影響を考察した後,これらのパラメータがバルブ全体に及ぼす影響について,そのステップ応答特性の観点から解析的に検証した。(著者抄録)
