文献

J-GLOBAL ID：201702227371960395   整理番号：17A1571022

電熱バイモルフ駆動に基づくMEMSミラーの特性評価と信頼性研究【Powered by NICT】

Characterization and reliability study of a MEMS mirror based on electrothermal bimorph actuation

著者 (5件)： Wang Haoran (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Zhang Xiaoyang (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Zhang Daihua (School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin, China) ,  Zhou Liang (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Xie Huikai (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： OMN  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きな走査範囲,高いフィルファクタと高い共振周波数を用いた電熱バイモルフベースMEMSミラーを提示した。バイモルフ熱アクチュエータのバーンアウトに起因する信頼性問題についても検討し,モデル化した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： モデリング ,  *キャラクタリゼーション ,  共振周波数 ,  *電気加熱 ,  *信頼性 ,  アクチュエータ ,  走査 ,  バーンアウト
準シソーラス用語： フィルファクタ ,  *マイクロミラー ,  *バイモルフ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電熱 ,  バイモルフ ,  MEMSミラー ,  特性評価 ,  研究