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J-GLOBAL ID:201702227709973642   整理番号:17A0571694

高温パッケージング用のダイ取り付け材としての銀-銅ナノペーストの低温ナノ接合

Low temperature nanojoining of silver-copper nanopaste as die attach material for high temperature packaging
著者 (5件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 5446-5451  発行年: 2017年04月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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以前報告した方法で合成した銀-銅(Ag-Cu)ナノ結晶粒子を,3種類の有機物質と混合した,Ag-Cuナノペーストを設計した。焼結したAg-Cuナノペーストの硬度,Young率,せん断強度などの機械特性を調べて,解析した。20wt%のポリエチレン・グリコール(PEG)を添加したAg-CuナノペーストBが,高温パッケージング用に最適とされている,プロパンジオールを添加したAg-CuナノペーストAとテルピネオールを添加したAg-CuナノペーストCよりも,硬度とYoung率は低いがせん断強度が高いことが分かった。Ag-CuナノペーストBは,AgリッチとCuリッチな相から成る共晶微細構造を持つこと,両相では顕著な固溶性があること,並びに界面では原子相互拡散によりナノペーストと基板の間が連結されることが分かった。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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