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J-GLOBAL ID：201702228207033160   整理番号：17A1374847

二重結像型マイクロ光造形法による表面微細構造ユニットの一括創製に関する研究

著者 (4件)： 松本侑己 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J08  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブマイクロスケールの構造と数10マイクロメートルスケールの構造から成る生物の持つ機能的な表面微細構造を模倣するため,本研究では両者の構造を一括して同時に創製するマイクロ光造形法を提案する。本報では,サイズの異なる構造を同時に造形するため,異なる位置に結像面を有する光学系を開発した。そして,基礎実験により提案手法の有効性を検証した。(著者抄録)

シソーラス用語： *付加製造 ,  *微細構造 ,  表面性状 ,  結像 ,  光学系 ,  多重露光 ,  光学設計 ,  *サブミクロン加工 ,  検査
準シソーラス用語： 二重露光 ,  画像検査 ,  *光造形法 ,  露光装置

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (1件)：

• X. Gao, X. Yan, X Yao, L. Xu, K. Zhang, J. Zhang, B. Yang, L. Jiang: The Dry-Style Antifogging Properties of Mosquito Compound Eyes and Artificial Analogues Prepared by Soft Lithograpgy, Advanced Materials (2007) 2213-2217

タイトルに関連する用語 (5件)： 結像 ,  光造形 ,  表面微細構造 ,  創製 ,  研究