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J-GLOBAL ID：201702228386270923   整理番号：17A0942506

MEMS加速度計生産技術経路選択【Powered by NICT】

MEMS accelerometers production technological route selection

著者 (4件)： Nevludov Igor (CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14) ,  Yevsieiev Vladyslav (CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14) ,  Bortnikova Viktoriia (CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14) ,  Miliutina Svitlana (CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CADSM  ページ： 424-427  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS加速度計生産技術経路選択法を提案した。類似設計とプロセスパラメータを用いたMEMS加速度計のために開発された分類法を用いて実現した。その実用結果技術のMEMS加速度計生産技術経路一般化構造製造を提案した。提案した方法の結果は,MEMS加速度計生産技術経路設計プロセスを自動化することを可能にする。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *経路選定 ,  自動化 ,  *MEMS ,  プロセスパラメータ ,  *加速度計 ,  *生産技術
準シソーラス用語： 分類法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  加速度計 ,  経路選択