文献

J-GLOBAL ID：201702228544096830   整理番号：17A1548706

微細加工加速度計の分解能を改善するための擬似静電ばね定数を用いた【Powered by NICT】

Using pseudo electrostatic spring constant to improve the resolution of micro-machined accelerometer

著者 (6件)： Xiong Xingyin (Institute of Geology and Geophysics Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100029, China) ,  Xiong Xingyin (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100049, China) ,  Cong Ning (Institute of Geology and Geophysics Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100029, China) ,  Cong Ning (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100049, China) ,  Li Zongwei (Institute of Geology and Geophysics Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100029, China) ,  Han Kedu (Institute of Geology and Geophysics Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100029, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 265  ページ： 187-192  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分解能加速度計は,一般的に静電的力フィードバックシグマ-デルタ閉ループを用いた。加速度計の分解能を改善するために,高次雑音整形フィルタを用いた。しかし,安定性と高次シグマ-デルタ閉ループ,特に高Q加速度センサを設計するための雑音成形能力間のトレードオフは困難である。本論文では,擬似静電ばね定数は静電力フィードバックシグマ-デルタ閉ループ加速度計に基づいて提案した。信号帯域における低騒音レベルを達成するためのシステム伝達関数の共振周波数を調整するために用い,この調整は,閉ループシステムの安定性に影響を及ぼすことなく閉ループの外側にある。擬似静電ばね定数,システム解析とシミュレーションの概念を提示した。統合された測定システムはPCB上に実装した。システムノイズフロアは最適擬似静電ばね定数を用いて調整した後約160ng/√Hzを達成することができる。実験結果は,理論解析とシミュレーション結果を確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： フィードバック ,  伝達関数 ,  雑音 ,  計測システム ,  *ばね定数 ,  共振周波数 ,  フィルタ ,  *微細加工 ,  高分解能 ,  閉ループ系 ,  *加速度計 ,  シミュレーション ,  システム解析
準シソーラス用語： 理論解析 ,  加速度センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 擬似ばね定数 ,  閉ループ加速度計 ,  静電力フィードバック ,  シグマ-デルタ変調器

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細加工 ,  加速度計 ,  分解能 ,  擬似 ,  ばね定数