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J-GLOBAL ID：201702228948007108   整理番号：17A1417275

層状半導体単一光子源のオンチップ導波路結合

On-Chip Waveguide Coupling of a Layered Semiconductor Single-Photon Source

著者 (11件)： TONNDORF Philipp (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  DEL POZO-ZAMUDIO Osvaldo (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  GRUHLER Nico (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  KERN Johannes (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  SCHMIDT Robert (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  DMITRIEV Alexander I. (NASU, Kiev, UKR) ,  BAKHTINOV Anatoly P. (NASU, Kiev, UKR) ,  TARTAKOVSKII Alexander I. (Univ. Sheffield, Sheffield, GBR) ,  PERNICE Wolfram (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  DE VASCONCELLOS Steffen Michaelis (Univ. Muenster, Muenster, DEU) ,  BRATSCHITSCH Rudolf (Univ. Muenster, Muenster, DEU)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 17  号： 9  ページ： 5446-5451  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化ケイ素/ケイ素基板上に化学蒸着により窒化ケイ素薄膜(200nm)を形成し,電子ビームリソグラフィー/フルオロホルム-O₂ドライエッチングにより,両端に結合用グレーティングを備えたリブ導波路(500nmw×150nmh)およびスロット導波路(導波路幅250nm,スロット幅75nm)を作製した。セレン化ガリウム単結晶からの剥離フレーク(100nm厚)を導波路に結合させた。光ルミネセンスの導波路伝搬を観察した。フォトニック素子のためのオンチップ光源としての応用を示唆した。

シソーラス用語： *半導体素子 ,  結合器 ,  固体素子 ,  *光学素子 ,  酸化ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  化学蒸着 ,  窒化ケイ素 ,  薄膜 ,  電子ビームリソグラフィー ,  ドライエッチング ,  *回折格子 ,  *光導波路 ,  *ガリウム化合物 ,  *セレン化物 ,  単結晶 ,  剥離 ,  *光ルミネセンス
準シソーラス用語： Braggグレーティング ,  ケイ素基板 ,  スロット導波路 ,  *セレン化ガリウム ,  フォトニック素子 ,  リブ導波路 ,  導波路結合器 ,  *半導体発光素子

分類 (3件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  半導体レーザ  (BD04070L) ,  実験操作・装置(化学一般)  (CA02000Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 層状 ,  単一光子源 ,  オンチップ ,  導波路