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J-GLOBAL ID：201702229353606041   整理番号：17A0590373

Al⁺サブプランテーションによる単相岩塩構造VAlN膜の前例のないAl過飽和

Unprecedented Al supersaturation in single-phase rock salt structure VAlN films by Al⁺ subplantation

著者 (7件)： Greczynski G. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Mraz S. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Hans M. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Primetzhofer D. (Department of Physics and Astronomy, The Ångstrom Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 516, SE-75120 Uppsala, Sweden) ,  Lu J. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Hultman L. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Schneider J. M. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 121  号： 17  ページ： 171907-171907-9  発行年： 2017年05月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *バナジウム化合物 ,  *窒化物 ,  合金化 ,  *岩塩型結晶 ,  *イオン注入 ,  *過飽和 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *金属イオン ,  アルミニウム ,  ターゲット ,  放射線束 ,  結晶粒 ,  溶解度 ,  弾性係数 ,  密度汎関数法 ,  機械的性質 ,  耐酸化性 ,  イオンビーム蒸着 ,  X線回折 ,  皮膜 ,  *アルミニウム化合物
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  *アルミニウムイオン ,  イオン束 ,  コーティング膜 ,  *窒化バナジウム ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  HiPIMS

分類 (2件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  プランテーション ,  単相 ,  岩塩 ,  Al ,  過飽和