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J-GLOBAL ID：201702229811009097   整理番号：17A1004582

バイアス通電によるミアンダコプレーナ薄膜磁界センサの開発

Meandering Coplanar Line Type Thin Film Magnetic Field Sensor with Direct Bias

著者 (5件)： 薮上信 (東北学院大学工学部) ,  植竹宏明 (東北学院大学工学部) ,  森谷健太 (東北学院大学工学部) ,  冨並剛 (東北学院大学工学部) ,  小野寺英彦 (東北学院大学工学部)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 137  号： 8  ページ： 460-465(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,これまで伝送線路型のセンサ素子構造を有し,キャリアの位相差を計測することにより高感度な薄膜磁界センサを開発してきた。本論文では,伝送線路および磁性薄膜プロセスにより一体化したミアンダコプレーナ構造の集積化薄膜磁界センサを開発したので紹介した。作製したセンサに対して,バイアス電流を磁性薄膜直下にセンサ素子に一体化させた電極へ通電させた。その結果,外部からバイアス磁界を印加する場合とほぼ同等のセンサ感度を得られることを見いだした。

シソーラス用語： *バイアス ,  *電気伝導 ,  *コプレーナ導波路 ,  *伝送線路 ,  *磁性薄膜 ,  *磁気センサ ,  *高感度 ,  センサアレイ ,  *微細加工 ,  *室温 ,  有限要素法 ,  数値解析 ,  磁場 ,  磁場配位 ,  薄膜 ,  コバルト化合物 ,  ニオブ化合物 ,  ジルコニウム化合物 ,  チタン酸ストロンチウム ,  静磁場
準シソーラス用語： 通電 ,  *メアンダ線路 ,  磁場センサ ,  バイアス磁場 ,  非晶質薄膜

著者キーワード (4件)： バイアス ,  ミアンダコプレーナ線路 ,  bias ,  meandering coplanar line

分類 (2件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  伝送線  (NC04030C)

引用文献 (8件)：

• (1) T. Tsuji and M. Kotani : Jpn. J. Medical Instrum., Vol. 60, No. 7 (1990)
• (2) T. Tomita, A. Arakawa, K. Shinada, N. Matsuda, K. Nakano, Y. Yamada, and Y. Yoshida : J. Magn. Soc. Jpn., Vol. 22, pp. 913-916 (1998)
• (3) S. Groeger, G. Bison, P. E. Knowles, R. Wynands, and A. Weis : “Laser-pumped cesium magnetometers for high-resolution medical and fundamental research”, <i>Sens. & Actuators</i>, A 129, pp. 1-5 (2006)
• (4) C. Dolabdjian, S. Saez, A. Reyes Toledo, and D. Robbes : Rev. Sci. Instrum., Vol. 69, No. 10 (1998)
• (5) S. Yabukami, K. Kato, T. Ozawa, N. Kobayashi, and K. I. Arai : J. Magn. Soc. Jpn., Vol. 38, No. 2-1, pp. 25-28 (2014)

タイトルに関連する用語 (5件)： バイアス ,  通電 ,  薄膜 ,  磁界センサ ,  開発