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J-GLOBAL ID：201702229905427672   整理番号：17A1309783

Ni/Bi₂Te₃/NiとNi/Sb₂Te₃/Ni薄膜からの先進的熱電素子の熱電特性と光学的性質

Thermoelectric and optical properties of advanced thermoelectric devices from Ni/Bi₂Te₃/Ni and Ni/Sb₂Te₃/Ni thin films

著者 (7件)： Budak Satilmis (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762) ,  Xiao Zhigang (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762) ,  Cole Jorden (Robins AFB, Warner Robins, Georgia 31088) ,  Price Dennis (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762) ,  Davis Tyler (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762) ,  Strong Tiara (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762) ,  Alim Mohammad A. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Alabama A&M University, Normal, Alabama 35762)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 5  ページ： 051401-051401-6  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱電素子を,直流/高周波マグネトロンスパッタリングと電子ビーム蒸着システムの両方を用いて,Ni/Bi₂Te₃/NiとNi/Sb₂Te₃/Niとの薄膜から作製した。熱電薄膜素子はSeebeck係数と電気伝導率の両方を増加させ,熱伝導率を減少させるため,様々な温度で1時間のアニールをして多層薄膜のナノ構造を形成した。Ni/Bi₂Te₃/Ni薄膜にて製作された薄膜を300°Cでアニールしたとき,-437.78μV/Kという最高のSeebeck係数が達成された。Ni/Bi₂Te₃/Ni薄膜からの試料を100°Cでアニールしたとき,σ=4.26×10⁶(Ωm)^-1という最高の電気伝導率が達成され,アニーリングを続けると電気伝導率は減少した。Ni/Sb₂Te₃/Ni薄膜にて作製した素子を200°Cでアニールしたとき,-1253.85μV/Kという最高のSeebeck係数が達成された。Ni/Sb₂Te₃/Ni薄膜からの試料を250°Cでアニールしたとき,σ=1.45×10⁴(Ωm)^-1という最高の電気伝導率が達成された。エネルギー分散X線分光計を備えた走査電子顕微鏡(SEM)は,Ni/Bi₂Te₃/Ni薄膜を0~300°Cの間の様々な温度で連続的にアニールしたとき,Ni薄膜の表面にいくつかのナノドットが形成されることを示した。Ni/Sb₂Te₃/Ni薄膜は,0~300°Cの間の様々な温度でアニールしたとき滑らかな表面を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *熱電素子 ,  *電気特性 ,  光学的性質 ,  *アンチモン化合物 ,  *テルル化物 ,  *ビスマス化合物 ,  マグネトロンスパッタリング ,  電子ビーム蒸着 ,  *輸送係数 ,  電気伝導率 ,  熱伝導率 ,  走査電子顕微鏡 ,  熱処理
準シソーラス用語： *熱電特性 ,  テルル化アンチモン ,  テルル化ビスマス ,  *Seebeck係数 ,  アニール効果

分類 (3件)： 半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P) ,  熱電デバイス  (NC03090J) ,  非金属のその他の熱的性質  (BL05040J)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ni ,  薄膜 ,  熱電素子 ,  熱電特性 ,  光学的性質