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J-GLOBAL ID：201702230189022212   整理番号：17A0381562

時間付き光子計数管におけるMEMS透過ダイノードとしての超薄A LD MgO膜【Powered by NICT】

Ultra-thin ALD MGO membranes as mems transmission dynodes in a timed photon counter

著者 (6件)： Prodanovic Violeta (Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands) ,  Chan Hong Wah (Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands) ,  Mane Anil U. (Argonne National Laboratory, Argonne, USA) ,  Elam Jeffrey W. (Argonne National Laboratory, Argonne, USA) ,  Graaf Harry V. D. (Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands) ,  Sarro Pasqualina M. (Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 740-743  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,新しい単一自由電子検出器「時間付き光子計数器」(TiPC)は,超薄MgO透過ダイノード(tynodes)の恩恵を受けるかもしれないかを示した。これらの膜は,MEMSプロセス技術により作製し,良好な品質の成長膜の最も適切技術として原子層堆積(A LD)を,厚さ,非常に低い表面粗さの優れた制御した。超薄(5-25 nm)自立MgO膜の大面積アレイを作製し,キャラクタライズTiPCにおけるA LD MgOの応用のための最適な厚さを決定した。以前に考慮した他の材料,SiN,Al_2O_3,SiC,Si上のMgOの優位性を検証した。MgOの例外的な機械的(特に低応力 200MPa),化学的および電気的特性は,多数のMEMS応用のためのこの材料の非常に魅力的な候補にしている,光子計数管におけるMEMS透過ダイノード。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *光子計数 ,  *酸化マグネシウム ,  *MEMS ,  電気的性質 ,  *透過 ,  品質
準シソーラス用語： 大面積 ,  *ダイノード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光子計数 ,  MEMS ,  透過 ,  ダイノード ,  LD ,  MgO