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J-GLOBAL ID：201702230351087621   整理番号：17A1036894

直接ガラスへの結合のための新しい逐次プラズマ活性化法【Powered by NICT】

Novel sequential plasma activation method for direct glass bonding

著者 (3件)： He Ran (School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Yamauchi Akira (Bondtech Co., Ltd., 77 Ishiharanisimachi, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto 601-8366, Japan) ,  Suga Tadatomo (School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： LTB-3D  ページ： 22  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 石英ガラスウエハ間の直接結合のために新たに開発した逐次プラズマ活性化ボンディング(SPAB)プロセスを報告した。本論文で新しいSPAB法はRIE N_2プラズマ活性化またはNラジカル活性化の前にO2プラズマ活性化の代わりにを採用した。実験結果は,従来のSPABプロセスとの比較を報告し,議論した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 石英ガラス ,  *ガラス ,  ラジカル ,  *プラズマ

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス ,  逐次 ,  プラズマ ,  活性化法