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J-GLOBAL ID：201702230814964387   整理番号：17A0232341

スパッタ法で製膜された非晶質酸化ニオブ薄膜の構造解析

著者 (7件)： 桟敷剛 (香川高専) ,  大城千夏 (岡山大) ,  尾原幸治 (高輝度光科学研究セ) ,  小原真司 (物質・材料研究機構) ,  紅野安彦 (岡山大) ,  難波徳郎 (岡山大) ,  岡野寛 (香川高専)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (Preprints of the Symposium on Basic Science of Ceramics)
巻： 55th  ページ： 134  発行年： 2017年01月12日 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化ニオブ ,  非晶質 ,  *セラミック膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *結晶構造 ,  反応性マグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ法 ,  製膜 ,  非晶質 ,  酸化ニオブ ,  薄膜 ,  構造解析