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J-GLOBAL ID：201702231045040213   整理番号：17A1732270

ゲートオールアラウンドナノワイヤFET中に埋め込まれたナノワイヤの光熱音響イメージングの実現可能性研究【Powered by NICT】

Feasibility study of photo thermal acoustic imaging of buried nanowires in Gate-All-Around Nanowire FETs

著者 (5件)： van Neer P.L.M.J. (Department of Acoustics and Sonar, TNO, the Hague, the Netherlands) ,  Piras D. (Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands) ,  Koek W. (Department of Optics, TNO, Delft, The Netherlands) ,  van Zwet E. (Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands) ,  Sadeghian H. (Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 同じ半導体領域で多くの機能性と処理能力を統合する進行中の駆動により,デバイス構造は3Dになってきた。FinFETと後継ゲートオールアラウンド(GAA)ナノワイヤFETのような,このような構造はナノメートルスケールで非破壊的にそれらの形状と材料特性を測定するための新しい挑戦をもたらす。光熱音響イメージング(PTAI)は,潜在的な計測方法である。試料はパルス光ポンプビームによって局所的に加熱される。これは試料中を伝播する弾性波,これは試料中の介在物によって散乱されるを生成する。散乱エネルギーの一部は試料表面に移動し,表面変形は干渉検出を用いた光プローブビームにより検出される。アクチュエーション経路またはセンシングの物理的接触が必要である。PTAIは光学的に不透明な層を通した計測を可能にした。本研究では,ナノワイヤの検出とイメージングのためのPTAIの可能性を調べた。PTAIは材料の体積光エネルギーの吸収と熱への変換まで局所的に加熱されたパルスポンプビームを解析的に計算した。熱によって発生する温度分布,熱膨張による応力波の生成と得られた弾性波の伝搬と散乱を,有限要素モデリングを用いて計算した。プローブビームは試料表面変位を空間的に平均化によりモデル化した。データセットは波数周波数領域マッピングを用いて画像化した。シミュレーション結果は,ナノワイヤの検出はPTAIを用いて実用化されるべきであることを示したが,ナノワイヤのイメージングは,音響周波数と光プローブビーム幅によって制限される。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 波数 ,  半導体 ,  *音響 ,  光プローブ ,  *ナノワイヤ ,  散乱 ,  周波数 ,  温度分布 ,  三次元 ,  *画像処理 ,  モデリング ,  素子構造 ,  弾性波 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *ゲートオールアラウンド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (7件)： ゲートオールアラウンド ,  ナノワイヤFET ,  ナノワイヤ ,  熱音響 ,  イメージング ,  実現可能性 ,  研究