文献

J-GLOBAL ID：201702231560934809   整理番号：17A1033510

Tenso起電力効果に基づくMEMS圧力変換器における熱応力の診断【Powered by NICT】

Diagnostics of thermal stress in MEMS pressure transducer based on Tenso-e.m.f. effect

著者 (3件)： Mikhailenko Igor (Department of Microelectronics, National Technical University of Ukraine, “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”, Kyiv, Ukraine) ,  Orlov Anatolii (Department of Microelectronics, National Technical University of Ukraine, “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”, Kyiv, Ukraine) ,  Serdega Boris (Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ELNANO  ページ： 201-204  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクス技術 MEMSとその最適化問題を用いて製造した集積圧力変換器の物理的原理,概念設計と製作を検討した。変換器製造とその電流加熱供給電流により生じた真性応力の空間分布は,変調偏光測定法により研究した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 偏光測定 ,  *熱応力 ,  *変換器 ,  *起電力 ,  マイクロエレクトロニクス ,  電流 ,  *MEMS ,  最適化問題 ,  空間分布 ,  *圧力変換器 ,  概念設計

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 起電力 ,  MEMS ,  圧力変換器 ,  熱応力 ,  診断