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J-GLOBAL ID：201702232900885931   整理番号：17A0576550

多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法(第2報)双方向への搬送

著者 (3件)： 古谷克司 (豊田工大) ,  中村祐介 (豊田工大) ,  瓜田明 (豊田工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C22  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガラス基板や半導体ウエハを清浄に保ちつつ搬送するためには,非接触搬送法が必要となる。そこで本研究では,多相の空気流路から空気を吐出・吸引することで被搬送物をわずかに傾けるとともに,空気流を裏面に当てることで駆動力を発生させる。被搬送物の位置に応じて空気流を与えるパターンをシフトすることで,移動している被搬送物に制動力を与えることや,双方向搬送が可能であった。(著者抄録)

シソーラス用語： *薄板 ,  *運搬 ,  *基板 ,  *電気装置部品 ,  *ウエハ【IC】 ,  *経路
準シソーラス用語： 非接触搬送 ,  ガラス基板 ,  半導体ウエハ ,  流路

分類 (4件)： 高速空気力学  (BC03000C) ,  セラミック材料試験  (HB04000M) ,  天然石材,窯業製品  (RA06043Y) ,  流体力学一般  (BC01010Z)

引用文献 (2件)：

• 磯部浩已,渡邉拓:スクイーズ圧力と空気静圧力を組み合わせたガラス基板の非接触搬送方法の開発(第一報)傾斜する基板に作用する搬送力の数値解析,精密工学会誌,79,9 (2013)
• 古谷克司,中村祐介:多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法(第1報)基本構想,2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (2015) 613.

タイトルに関連する用語 (5件)： 多相 ,  空気流 ,  薄板 ,  非接触搬送 ,  双方向