Chkhalo N.I. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Kaskov I.A. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Malyshev I.V. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Mikhaylenko M.S. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Pestov A.E. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Polkovnikov V.N. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Polkovnikov V.N. について
Nizhny Novgorod N.I. Lobachevskii State University, av. Gagarina, 23, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Salashchenko N.N. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Toropov M.N. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Zabrodin I.G. について
Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences, GSP-105, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Precision Engineering について
開口 について
イオン について
ダイヤフラム について
イオン源 について
集束イオンビーム について
精密加工 について
工作物 について
イオンビーム について
非対称性 について
誤り訂正 について
集束 について
高速度 について
表面形状 について
非球面 について
光学部品 について
Roughness について
研磨 について
非球面 について
光作製 について
X線 について
軟X線 について
極端紫外(EUV) について
長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 について
特殊加工 について
イオンビーム について
光学部品 について
高精度加工 について
高性能 について
設備 について