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J-GLOBAL ID：201702233782903608   整理番号：17A1085042

超臨界二酸化炭素により支援されたガラスの高アスペクト比レーザ穴あけ

High-aspect ratio laser drilling of glass assisted by supercritical carbon dioxide

著者 (1件)： YOSHIKI Keisuke (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10092  ページ： 100921K.1-100921K.6  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超臨界二酸化炭素により支援された新たな高アスペクト比レーザ穴あけについて検討した。超臨界二酸化炭素は,レーザアブレーションのデブリスを穴の外に除去する。超臨界二酸化炭素を使用したレーザ穴あけは,空気と水を使用した穴あけより深い穴をもたらす。臨界点の二酸化炭素に支援された三次元穴あけを実証した。レーザの焦点は63μm/sの送り速度で走査された。照射条件は,パルスエネルギー40μJにおいて9.0kHzのパルス列を使用した。ガラスは150μmの深さを超え150μmの水平距離にわたり穴あけされた。

シソーラス用語： *レーザ穴あけ ,  超臨界二酸化炭素 ,  *レーザ応用 ,  ガラス ,  アスペクト比 ,  透明材料 ,  フェムト秒レーザ ,  レーザアブレーション ,  スルーホール ,  高アスペクト比
準シソーラス用語： フェムト秒パルスレーザ

分類 (2件)： その他の切削  (QC02040C) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超臨界二酸化炭素 ,  支援 ,  ガラス ,  高アスペクト比 ,  レーザ穴あけ