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J-GLOBAL ID:201702234035736069   整理番号:17A1254639

半導体品質分析における非正規データ用集積回路の特性化【Powered by NICT】

Integrated circuits’ characterization for non-normal data in semiconductor quality analysis
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: ETS  ページ: 1-2  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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集積回路の解析と生産工程でのキャラクタリゼーションのための標準測定基準は,通常,研究下でのプロセスは正規分布で特徴づけられると仮定した。しかし,実際に適合データは常に正常ではなく,収率推定値は不正確である可能性がある。本論文では,分布フィッティング流を用いて収率を推定する提案した。選択した分布型は,より正確な収率を推定し,推定値の低い分散を持つことを証明した。分布モデルは仕様限界の定量の観点から集積回路の特性評価のための,信頼性の高いツールであることが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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人工知能 
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