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J-GLOBAL ID：201702234050713028   整理番号：17A1558645

反応性マグネトロンスパッタリングにより堆積したCrN_x硬質皮膜の化学組成,微細構造及び機械的性質に及ぼすスパッタリングパワーの影響【Powered by NICT】

Effect of sputtering power on the chemical composition, microstructure and mechanical properties of CrN_x hard coatings deposited by reactive magnetron sputtering

著者 (6件)： Qi Zhengbing (Key Laboratory of Functional Materials and Applications of Fujian Province, School of Materials Science and Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen 361024, China) ,  Wu Zhengtao (Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China) ,  Zhang Dongfang (Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China) ,  Wei Binbin (Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China) ,  Wang Jinhuo (Key Laboratory of Functional Materials and Applications of Fujian Province, School of Materials Science and Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen 361024, China) ,  Wang Zhoucheng (Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 145  ページ： 136-143  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,CrN_x被覆は200~300Wスパッタリング出力を変えて反応性マグネトロンスパッタリングにより堆積した。皮膜の化学組成,相構造,表面と断面形態,および機械的性質をそれぞれ電子プローブ微量分析,X線光電子分光法,X線回折,Raman分光法,走査電子顕微鏡,透過型電子顕微鏡,及びナノインデンテーション測定により調べた。結果は200Wのスパッタリングパワーで堆積したコーティングは柱状構造を持つ単相fcc CrNであることを示し,一方250および300Wのスパッタリングパワーで堆積した皮膜はナノ複合材料構造を有する六方晶Cr_2Nとfcc CrNから成っていた。単相Cr_2NまたはCrNコーティングと比較して,複合材料被覆は,塑性変形と割れ,そのユニークなナノ複合材料構造に起因する高い硬度と優れた抵抗性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *化学組成 ,  *スパッタリング ,  X線光電子スペクトル ,  単相 ,  X線光電子分光法 ,  *微細構造 ,  *皮膜 ,  ナノ複合材料 ,  X線回折 ,  *機械的性質 ,  ナノインデンテーション ,  六方晶系 ,  被覆
準シソーラス用語： 柱状構造 ,  *硬質皮膜 ,  *反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 窒化クロム被覆 ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  化学組成 ,  Microstructure ,  機械的性質

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 反応性マグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  硬質皮膜 ,  化学組成 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  スパッタリング ,  パワー