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J-GLOBAL ID：201702234273158181   整理番号：17A0386057

誘導結合型O₂/Arパルスプラズマの時間分解特性の実験的および数値的研究

Experimental and numerical investigations on time-resolved characteristics of pulsed inductively coupled O₂/Ar plasmas

著者 (6件)： Xue Chan (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Wen De-Qi (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Liu Wei (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Zhang Yu-Ru (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Gao Fei (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Wang You-Nian (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35  号： 2  ページ： 021301-021301-9  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,ラングミュアプローブとグローバルモデルにより,誘導結合型O₂/Arパルスプラズマの時間分解特性を研究した。プラズマ特性(電子密度,実効電子温度,電子エネルギー確率関数(EEPF)など)を,様々な放電条件のもとで実験的に調べ,計算結果と比較した。電力を加えると,電子密度が急速に上昇し,その後一定値の定常状態に到達することがわかった。電力が切断されると,電子密度は当初のアフターグロー期間にピークを示し,その後徐々に非常に低い値に減少する。このピークはおそらく負イオンの脱離で生ずる。さらに,実効電子温度も初期のアフターグローのときピーク値に上昇するが,これはEEPFの時間変化を考えると理解できる。実際に,電力が切断されたとき,励起状態粒子との衝突および高エネルギー電子のエネルギー損失により,多くの中エネルギー電子が生成され,これが当初のアフターグローにおける実効電子温度のピークの原因である。加えて,アフターグロー中の電子密度と実効電子温度とのピーク以外は,計算結果が実験データと定性的に一致する。絶対値の差異は,おそらくモデルでのマクスウェル型電子エネルギー分布関数の仮定に起因している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *プラズマ ,  *Langmuir探針 ,  *時間分解能 ,  *電子密度 ,  エネルギー ,  電子温度 ,  *数値解析
準シソーラス用語： *パルスプラズマ ,  電子エネルギー

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (8件)： 誘導結合 ,  O2 ,  Ar ,  パルスプラズマ ,  分解特性 ,  実験 ,  数値 ,  研究