KIM Taewoong について
Univ. of Tokyo について
MOMOSE Takeshi について
Univ. of Tokyo について
MATSUO Akira について
CANON ANELVA CORP. について
SEINO Takuya について
CANON ANELVA CORP. について
SHIMOGAKI Yukihiro について
Univ. of Tokyo について
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
超LSI について
銅 について
配線 について
信頼性 について
超薄膜 について
物理蒸着 について
コバルト について
タングステン について
単一層 について
ライナ について
層 について
拡散障壁 について
キャラクタリゼーション について
誘電体 について
密着性 について
表面粗さ について
ULSI について
障壁層 について
半導体集積回路 について
固体デバイス計測・試験・信頼性 について
ULSI について
Cu配線 について
信頼性向上 について
極 について
PVD について
CO について
単層 について
バリア について
ライナー について
特性評価 について