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J-GLOBAL ID：201702234477476219   整理番号：17A0381656

周波数同調のための形状のくし形フィンガを持つエピタキシャルカプセル化4質量共振器【Powered by NICT】

Epitaxially-encapsulated quad mass resonator with shaped comb fingers for frequency tuning

著者 (7件)： Taheri-Tehrani Parsa (University of California Davis, Davis, CA, USA) ,  Defoort Martial (University of California Davis, Davis, CA, USA) ,  Chen Yunhan (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Flader Ian (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Shin Dongsuk D. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Kenny Thomas W. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Horsley David A. (University of California Davis, Davis, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1111-1114  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周波数同調用成形櫛状フィンガをもつエピタキシャルカプセル化2×2mm~2 4質量共振器(QMR)を提案した。成形電極は,線形共振器の周波数同調のための使用されてきたが,ここで研究したデバイスは,成形電極無しの,大振幅での振幅-周波数依存性と振動子ループの不安定性のような望ましくない非線形挙動をもたらす非常に狭帯域共鳴をもたらす非常に高い品質因子(g=100,000)を持っていた。形状をなしたくし状突起設計を通して,周波数同調(90Hz以上)と大振幅振動(振幅1.25μm,成形電極無しの性能に比べて100の因子)の両方が可能であることを実証した。さらに,製造プロセスにおける臨界次元損失は設計された形状の指の形状を変化させ,静電剛性硬化を導入することができるかを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *共振器 ,  臨界 ,  不安定性 ,  線形性 ,  剛性 ,  *櫛形 ,  大振幅振動 ,  周波数依存性 ,  狭帯域 ,  *エピタクシー ,  生産工程 ,  振動子
準シソーラス用語： 品質因子 ,  非線形挙動 ,  *周波数同調 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 周波数同調 ,  くし形 ,  フィン ,  エピタキシャル ,  カプセル化 ,  質量 ,  共振器