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J-GLOBAL ID：201702234516563791   整理番号：17A1719421

水の窓顕微鏡におけるコンデンサ光学のためのCr/Sc/Mo多層膜【Powered by NICT】

Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes

著者 (3件)： Hatano Tadashi (IMRAM, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Ejima Takeo (IMRAM, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Tsuru Toshihide (Faculty of Education, Art and Science, Yamagata University, 1-4-12 Kojirakawa-machi, Yamagata 990-8560, Japan)
資料名： Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 220  ページ： 14-16  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水窓軟X線領域で動作する顕微鏡におけるコンデンサ光学系への応用のための高反射率の広い反射バンド多層を開発した。トロイダル基板上に堆積した,おそらく,それらの中に存在する厚いSc層の圧縮応力に起因するものであった場合すれすれ入射20期間Cr/Sc多層膜を受けた損傷。そのような損傷を避けるために,Cr/Sc/Mo10三層構造を用いることにより,Sc層厚さを最小化した。得られた多層は,77.2°の入射角で310eV軟X線を反映する9.8nmの周期的厚みを有していた。多層膜は損傷とスパッタリングないイオンビームによるSiウエハと凹面BK7基板上に堆積することに成功した。Cr/Sc/Mo10三層の測定した反射率のピーク高さ,角度アクセプタンス,スペクトル幅は27.4%,1.5°および35eVであった,広帯域高Zプラズマ軟X線源のコンデンサ光学系に適していることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 軟X線 ,  圧縮応力 ,  光学系 ,  広帯域 ,  イオンビーム ,  *コンデンサ ,  すれすれ入射 ,  プラズマ ,  反射率 ,  *スカンジウム ,  *多層 ,  *多層膜 ,  スペクトル ,  入射角
準シソーラス用語： シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 多層 ,  軟X線 ,  水窓 ,  反射率 ,  スパッタリング蒸着

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 水の窓 ,  顕微鏡 ,  コンデンサ ,  光学 ,  Cr ,  Sc ,  Mo ,  多層膜