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J-GLOBAL ID：201702234615352590   整理番号：17A0795425

高速広範囲先端傾斜ピストンマイクロミラーアレイ【Powered by NICT】

A High-Speed Large-Range Tip-Tilt-Piston Micromirror Array

著者 (4件)： Hopkins Jonathan B. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California at Los Angeles, Los Angeles, CA, USA) ,  Panas Robert M. (Lawrence Livermore National Laboratory, Materials Engineering Division, Livermore, CA, USA) ,  Song Yuanping (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California at Los Angeles, Los Angeles, CA, USA) ,  White Carolyn D. (AM Fitzgerald & Associates, LLC, Burlingame, CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26  号： 1  ページ： 196-205  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高速(回転振動の1°振幅に対する~45kHz)で広い範囲(>±10°回転と>±30μm)で三自由度(DOFs) チップ,チルト,およびピストンの連続,閉ループ制御を達成1mm~2六方晶ミラー,各独立に期待されるのは高い曲線因子(>99%)マイクロミラーアレイの設計を紹介した。このアレイの曲げトポロジーは自由,駆動,拘束トポロジー合成手法を用いて設計した,これはデカップルしたアクチュエータにより駆動される自由度の望ましいセットを達成する最良であることを各曲げトポロジーを考察し急速に設計者を助けるために幾何学的形状を利用した。このアレイの櫛形駆動アクチュエータの形状は新しいアプローチを用いてシステムのたわみの形状と関連して最適化した。このアプローチの基礎となる解析モデルを有限要素解析を用いて検証し,実験データを用いて検証した。この新しいミラーアレイの能力を可能にし,または改善し,最新の光学スイッチ,空間光変調器,ディスプレイ,レーザステアリングまたは走査装置のような様々な耐衝撃性光技術の性能を顕著にする。[2016 0222]Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 解析モデル ,  表示装置 ,  櫛形 ,  *ピストン ,  *高速度 ,  走査装置 ,  たわみ ,  フィードバック制御 ,  位相幾何学 ,  衝撃強さ ,  六方晶系 ,  空間光変調素子 ,  アクチュエータ ,  自由度
準シソーラス用語： *マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： ピストン ,  マイクロミラーアレイ