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J-GLOBAL ID:201702235305709362   整理番号:17A0052860

RuドープMoO3薄膜の構造,光学及び電気特性とJNS熱分解法によるP-Nダイオードへの応用

Structural, optical and electrical properties of Ru doped MoO3 thin films and its P-N diode application by JNS pyrolysis technique
著者 (4件):
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巻: 27  号: 11  ページ: 11646-11658  発行年: 2016年11月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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ジェット噴霧被覆は,P-Nダイオードに応用するためのルテニウムドープ三酸化モリブデン(RuMoO3)薄膜を500°Cで得るための有望な経路であることを報告する。MoO3の構造,光学,直流電気伝導率及びダイオード特性に及ぼすRuドーピング(0,3,6及び9重量%)の影響を種々の技術によって測定した。X線回折分析から,膜は,MoO3の斜方晶構造を持つ多結晶であることが分った。走査型電子顕微鏡画像から,サブミクロンサイズ板状構造の相違点が分かった。Ru,Mo及びO元素の存在をエネルギー分散型X線分光分析によって確認した。紫外-可視分析及び電流-電圧(I-V)特性から,6%RuドープMoO3膜は,可視領域における最小吸光度及び最大導電率を示した。ダイオードの測定を暗所とハロゲン光源下で行った。理想因子(n),障壁高さ(Φb)及びシート抵抗(Rs)などのダイオードパラメータ値を計算するために,I-V,Cheung及びNordeの種々の方法を用いた。Copyright 2016 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  ダイオード 

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