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J-GLOBAL ID：201702235419887446   整理番号：17A1090609

自己整合したブロック技術:更なるスケーリングに向けたステップ

Self-aligned block technology: a step towards further scaling

著者 (24件)： LAZZARINO Frederic (Imec, Leuven, BEL) ,  MOHANTY Nihar (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  FEURPRIER Yannick (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  HULI Lior (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  LUONG Vinh (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  DEMAND Marc (Tokyo Electron Europe Ltd., Sussex, GBR) ,  DECOSTER Stefan (Imec, Leuven, BEL) ,  VEGA GONZALEZ Victor (Imec, Leuven, BEL) ,  RYCKAERT Julien (Imec, Leuven, BEL) ,  KIM Ryan Ryoung Han (Imec, Leuven, BEL) ,  MALLIK Arindam (Imec, Leuven, BEL) ,  LERAY Philippe (Imec, Leuven, BEL) ,  WILSON Chris (Imec, Leuven, BEL) ,  BOEMMELS Juergen (Imec, Leuven, BEL) ,  KUMAR Kaushik (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  NAFUS Kathleen (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  DE VILLIERS Anton (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  SMITH Jeffrey (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  FONSECA Carlos (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  BANNISTER Julie (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  SCHEER Steven (TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA) ,  TOKEI Zsolt (Imec, Leuven, BEL) ,  PIUMI Daniele (Imec, Leuven, BEL) ,  BARLA Kathy (Imec, Leuven, BEL)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10149  ページ： 1014908.1-1014908.10  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 5mm技術ノードに適したブロックの自己整合を可能にする2つの統合方式を提示し,比較した。設計とマスクカウントの両方に対する効果と共に過程の複雑性とEPE(エッジ配置誤差)収支に対する影響を考慮して,概念と動機を論じた。検討中の統合スキームを検討し,両者を比較し,両事例における自己整合を可能にする要求(充填および表面平滑化材料能力,異なる処理に対する層安定性,エッチング選択性及び異方性,全体的な欠陥性)を考察した。光選択エッチングを可能にする材料及び過程の選択の双方の詳細が示され,16nmのハーフピッチBEOLビークルを用いて概念の証明を実証した。最後に,技術挿入とコスト推測に関する研究を紹介した。

シソーラス用語： 技術 ,  *自己整合 ,  誤差 ,  エッチング ,  *ブロック
準シソーラス用語： エッジ配置誤差 ,  *ブロック技術 ,  光選択エッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 自己整合 ,  スケーリング