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J-GLOBAL ID：201702235930373470   整理番号：17A1140872

2次元フォノン結晶構造の導入によるMEMSボロメータの感度向上

Enhanced sensitivity of MEMS bolometers by introducing two-dimensional phononic crystal structures

著者 (5件)： ZHANG Y. (Univ. Tokyo) ,  QIU B. (Univ. Tokyo) ,  NAGAI N. (Univ. Tokyo) ,  NOMURA M. (Univ. Tokyo) ,  HIRAKAWA K. (Univ. Tokyo)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.7p-A409-6  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ボロメータ ,  *フォノン ,  結晶構造 ,  *MEMS ,  二次元 ,  検出限界 ,  感度 ,  共振器 ,  電子ビームリソグラフィー ,  エッチング ,  共振周波数 ,  熱伝導率 ,  フォノン散乱 ,  検出能
準シソーラス用語： 検出感度

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  結晶中のフォノン・格子振動  (BL03020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 2次元 ,  フォノン ,  結晶構造 ,  MEMS ,  ボロメータ ,  感度向上