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J-GLOBAL ID：201702236063849713   整理番号：17A1560092

ロールツーロールUVインプリンティング法によるマイクロピラミッドアレイのための反射性能の研究【Powered by NICT】

Investigation of reflective performance for micro-pyramid arrays by roll-to-roll UV imprinting process

著者 (6件)： Wu Hao (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China) ,  Gao Jie (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China) ,  Yi Peiyun (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China) ,  Peng Linfa (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China) ,  Lai Xinmin (State Key Laboratory of Mechanical System and Vibration, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China) ,  Lai Xinmin (Shanghai Key Laboratory of Digital Manufacture for Thin-walled Structures, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, PR China)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 182  ページ： 61-67  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,反射性能を持つデバイスは,フレキシブルディスプレイ,電子ペーパー,温室温度制御,警告徴候などの我々の生活の多くの面で広く適用されている。は多くの反射構造であり,ピラミッド,優れた反射性能(理論的に66.7%まで)の利点のために,優れた選択であるとロール・ツー・ロール(R2R)紫外(UV)インプリンティングプロセスにより作製できる。しかし,高深さ対幅比と鋭いエッジの特性を持つ,ピラミッドアレイはR2Rプロセスの間の体積収縮と気泡欠陥のようないくつかの欠陥無しで作製するのは困難であった。本論文では,これらの欠陥と反射性能の間の関係を探求することである。まず,ピラミッドアレイを用いた光学薄膜を作製し,関係の調査を行い,新しい評価基準(等価ラジウム,R)は,構造欠陥と反射性能の間に負の関係を粗く特性化を提案した。一方,反射性能に及ぼす基板の厚さと異なる処理法の影響も調べた。反射性能と基板厚さの間の関係は,周期性を示し,反射膜の大規模生産についての指示を提供する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  *角錐 ,  *刷込 ,  評価基準 ,  温度制御 ,  警報 ,  気泡欠陥
準シソーラス用語： 周期性 ,  構造欠陥 ,  光学薄膜 ,  フレキシブルディスプレイ ,  *ロール・ツー・ロール方式 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 反射性能 ,  マイクロピラミッド ,  R2R紫外線インプリンティング ,  気泡欠陥 ,  等価ラジウム

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ロールツーロール ,  インプリンティング ,  研究