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J-GLOBAL ID：201702236486432649   整理番号：17A1482934

粘弾性基板上に蒸着した金属膜スパッタにおけるしわパターン【Powered by NICT】

Wrinkling patterns in metal films sputter deposited on viscoelastic substrates

著者 (5件)： Yu Sen-Jiang (Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China) ,  Du Yao-Peng (Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China) ,  Sun Ya-Dong (Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China) ,  Ye Quan-Lin (Hangzhou Key Laboratory of Quantum Matter, Department of Physics, Hangzhou Normal University, Hangzhou 310036, PR China) ,  Zhou Hong (Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 638  ページ： 230-235  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属モリブデン(Mo)膜を,マグネトロンスパッタリング法による粘弾性ゲル(弾性PDMSにも比較のために)基板上に堆積したとしわパターンを光学顕微鏡,原子間力顕微鏡と走査電子顕微鏡を用いて調べた。弾性PDMS基板では,Mo膜は自発的にラブリンス皺,そのサイズは膜厚とともに直線的に増加を形成することができる。粘弾性ゲル基板では,異なる波長をもつ二つのしわパターン,すなわち最初の(短波長)と二(長波長)しわ,膜中には観察することができた。蒸着後スパッタリングと熱圧縮中のゲルの表面不安定性に起因した。第二しわの波長は膜厚とともに増加するが,最初のしわ波長が厚さに依存しない。これらしわパターンの構造特性,形態学的変化と物理的機構を応力理論に基づいて考察し,解析した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *蒸着 ,  原子間力顕微鏡 ,  モルフォロジー ,  波長 ,  ゲル ,  走査電子顕微鏡 ,  *粘弾性 ,  *弾性 ,  不安定性 ,  モリブデン ,  *金属薄膜 ,  光学顕微鏡 ,  構造特性 ,  膜厚

著者キーワード (4件)： 金属膜 ,  粘弾性基板 ,  しわ ,  内部応力

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 粘弾性 ,  蒸着 ,  金属膜 ,  スパッタ ,  しわ