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J-GLOBAL ID：201702236676789995   整理番号：17A1560086

センサ応用のためのナノ-ミクロパターンのレーザ誘起前方移動(LIFT)【Powered by NICT】

Laser Induced Forward Transfer (LIFT) of nano-micro patterns for sensor applications

著者 (2件)： Papazoglou S. (School of Applied Mathematical and Physical Sciences, National Technical University of Athens, Heroon Polytechneiou 9, 157 80 Athens, Greece) ,  Zergioti I. (School of Applied Mathematical and Physical Sciences, National Technical University of Athens, Heroon Polytechneiou 9, 157 80 Athens, Greece)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 182  ページ： 25-34  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センサ技術における最近の研究と市場動向をセンサ素子の作製のための高速,低コスト処理,信頼性があり正確な堆積技術を必要とするが,減少した成分サイズの高度集積の複雑さのためのニーズが高まっている。レーザ印刷技術は,有機およびフレキシブルエレクトロニクスだけでなくセンサでもここ数年の間に進行した,高空間分解能,液相と固相の両方で移動物質能力,堆積の非破壊法と小容量溶液と廃液の必要性を含むその独特の利点によるものであった。本レビュー論文では,レーザ印刷の機構を議論することに,特にレーザ誘起前方転写法,センサデバイスの技術の適用性に関する例を提供するその起源と進化の焦点を当てた。さらに,他の印刷技術との比較を示し,化学的および生物学的センサの分野でより完全な見解を提供することを目的する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 液相 ,  固相 ,  信頼性 ,  *センサ ,  適応性 ,  廃水 ,  高速度 ,  印刷 ,  *レーザ
準シソーラス用語： レーザ誘起前方転写 ,  フレキシブルエレクトロニクス ,  印刷技術 ,  センサデバイス ,  市場動向 ,  *レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザ印刷 ,  化学センサ ,  Biosensors ,  インクジェット印刷 ,  ナノ-マイクロパターン

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 応用 ,  ミクロパターン ,  レーザ誘起