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J-GLOBAL ID：201702236962613775   整理番号：17A1056791

精密集積コンデンサの作製【Powered by NICT】

Fabrication of precision integrated capacitors

著者 (2件)： Jiang Jisu (Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0100, USA) ,  Kohl Paul A. (Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0100, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 634  ページ： 15-23  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水性五ほう酸アンモニウム八水和物電解液中でのアルミニウムの陽極酸化による金属-絶縁体-金属キャパシタの作製について詳細なパラメータ研究を報告した。陽極酸化電圧(8V 30V),時間(5min 60min),温度(5°C 60°C)および電解質濃度(0.01M 0.05M)に比静電容量の依存性を脱イオン水とエチレングリコール中で研究した。陽極酸化電圧と静電容量の直線的増加が見られ,エチレングリコール中で473nF/cm~2で達成された最高の容量であった。研究した範囲内で室温,長時間陽極酸化時間と高電解質濃度が最良の品質誘電体膜が得られた。誘電体はエチレングリコール中で形成したとき漏れ電流は<1nA/cm~2であった。エチレングリコール中で作製したキャパシタは半導体のための国際技術ロードマップのオンチップキャパシタ基準を満足し,二次電圧係数<100ppm/V~2であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電解質 ,  水和物 ,  静電容量 ,  *コンデンサ ,  漏れ電流 ,  電解液 ,  ホウ酸 ,  半導体 ,  脱イオン水 ,  アルミニウム ,  電圧 ,  アノード酸化 ,  誘電体 ,  脂肪族アルコール ,  ジオール
準シソーラス用語： 比静電容量 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電極過程  (CB07040U)

物質索引 (1件)： エチレングリコール

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積 ,  コンデンサ ,  作製