文献

J-GLOBAL ID：201702237119695442   整理番号：17A1088134

圧電微細加工超音波トランスデューサおよびマイクロポンプ: 設計から光学マイクロ流体の応用まで

Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers and Micropumps: From Design to Optomicrofluidic Applications

著者 (5件)： KHAZAALEH Shadi (Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE) ,  SAEED Numan (Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE) ,  TAHA Inas (Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE) ,  MADZIK Mateusz T. (Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE) ,  VIEGAS Jaime (Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10061  ページ： 100610S.1-100610S.7  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,窒化アルミニウム系の圧電微細加工された超音波トランスデューサ(PMUT)のウェハレベルの実験結果を報告する。このPMUTは,10V未満の低いピーク間電圧で作動し,数ナノメートルから600nmの軸方向の変位を伴って,200kHzから10MHzまでの周波数領域をカバーすることができる。作製したデバイスの占有面積は,(130×130)μm²であり,干渉顕微鏡とデジタルホログラフィック顕微鏡を用いて,その性能を評価した。有限要素モデルを検証するために,シミュレーションから得られた結果と測定値とを比較し,その結果,共振周波数の測定値とシミュレーションの値とがよい一致を示し,その偏差が最大でも10%であることが判明した。

シソーラス用語： *超音波変換器 ,  マイクロマシニング ,  *マイクロポンプ ,  窒化アルミニウム ,  解析モデル ,  有限要素法 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： 容量性微細加工超音波トランスデューサ ,  有限要素モデル ,  有限要素シミュレーション

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 圧電 ,  微細加工 ,  超音波トランスデューサ ,  マイクロポンプ ,  設計 ,  光学 ,  流体 ,  応用