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J-GLOBAL ID：201702237461924154   整理番号：17A0685003

直交Haidinger干渉縞の位相解析を用いた2π曖昧性のない平行ガラス板の厚み測定用の干渉測定システム

An interferometric system for measuring thickness of parallel glass plates without 2π ambiguity using phase analysis of quadrature Haidinger fringes

著者 (5件)： Kim Jong-Ahn (Center for Length, Division of Physical Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science, 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu 305-340, South Korea) ,  Kim Jae Wan (Center for Length, Division of Physical Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science, 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu 305-340, South Korea) ,  Kang Chu-Shik (Center for Length, Division of Physical Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science, 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu 305-340, South Korea) ,  Jin Jonghan (Center for Length, Division of Physical Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science, 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu 305-340, South Korea) ,  Lee Jae Yong (Center for Length, Division of Physical Metrology, Korea Research Institute of Standards and Science, 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu 305-340, South Korea)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 5  ページ： 055108-055108-7  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Haidinger干渉縞を解析することにより,平行ガラス板の厚みを測定する干渉測定システムを提案した。従来のHaidinger干渉計はインターフェログラム内のピーク点と谷点の位置を用いて2π曖昧さを伴わずに厚みを測定できるが,測定精度は計算に関与するこれらの点の数の影響を直接受ける。提案した方法は電流変調したレーザダイオードにより生成した直交Haidinger干渉縞を解析することにより,インターフェログラム全体にわたって位相値を得る。従って,試料の機械的回転や厚みの制限を受けずに高速測定とnmの分解能を達成できる。実験では,繰返し厚み測定の標準偏差は0.3nm以下と評価され,提案システムで測定した厚みプロファイルは従来の厚み干渉計のものと±15nm以内で一致した。また,提案の方法を首尾よく実施するために,試料の屈折率に要求される精度について論じ,不連続な厚みプロファイルを有する多層被覆試料の測定結果を例示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *干渉縞 ,  *干渉測定 ,  干渉計 ,  測定精度 ,  半導体レーザ ,  位相 ,  *厚み測定 ,  屈折率 ,  多層膜 ,  解析
準シソーラス用語： *Haidinger干渉縞 ,  インターフェログラム ,  位相解析【位相角】

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 干渉縞 ,  位相 ,  解析 ,  曖昧性 ,  ガラス板 ,  厚み測定 ,  干渉測定