圧電アクチュエーションおよびセンシングを用いた圧電可変曲げモード共振器の熱および【Powered by NICT】

Svilicic Boris; Wood Graham S.; Mastropaolo Enrico; Cheung Rebecca

文献

J-GLOBAL ID：201702238059079972 整理番号：17A1028807

圧電アクチュエーションおよびセンシングを用いた圧電可変曲げモード共振器の熱および【Powered by NICT】

Thermal- and Piezo-Tunable Flexural-Mode Resonator With Piezoelectric Actuation and Sensing

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資料名：
巻： 26 号： 3 ページ： 609-615 発行年： 2017年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電熱と圧電同調可能共振周波数を持った圧電駆動とセンシングたわみモードマイクロエレクトロメカニカル共鳴デバイスについて報告した。デバイスは鉛-ジルコニウム酸チタン酸圧電アクチュエータとセンサだけでなく,炭化けい素ダイヤフラムの上に置いた白金電熱同調電極を持つ多層円形膜(ダイヤフラム)共振器として設計されている。設計が,デバイスの圧電入力/出力運転の独立した活性電熱周波数同調を可能にした。作製したデバイスの性能は,大気条件で行った二端子伝送周波数応答測定を用いて試験した。電熱同調とその特性の圧電チューニングは共振周波数をシフト下方と上方のユニークな特徴を導入した。共振周波数は範囲0~5Vの直流電圧を印加することによって調整した。測定は圧電的に調整された場合,886kHz装置は電熱約ppmの同調範囲を同調させたとき,約 8400ppmの周波数調整範囲を示すことを示した。シミュレーション結果は,電熱同調のための広い周波数範囲は,与えられたdc電圧のための横隔膜における誘起された応力の大きな変化の結果,電熱同調機構は効果的に横隔膜における残留引張応力を緩和するのに役立つという事実であることを示した。[2016 0161]Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

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固体デバイス製造技術一般 , 電気式制御機器 , 共振器

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