文献

J-GLOBAL ID：201702239569453725   整理番号：17A1192555

空気圧ベローズにより駆動する微動ステージの制御方法とナノ位置決め

Nano-meter Accuracy Positioning and its Control Method of Micro Motion Stage Driven by Pneumatic Bellows

著者 (4件)： 藤田壽憲 (東京電機大) ,  榊和敏 (住友重機械工業) ,  宮崎里美 (東京電機大 大学院) ,  宮崎敬一 (東京電機大 大学院)
資料名： 日本フルードパワーシステム学会論文集  (Transactions of the Japan Fluid Power System Society)
巻： 48  号： 5  ページ： 33-38  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： L3342A  ISSN： 1880-3121  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・半導体産業では,数ナノオーダを中心とする超精密位置決めに対する需要大。
・現在,圧電素子アクチュエータが微動用として使われているが,要改善。
・本研究は,空気圧ベローズで駆動する微動ステージの制御機器及び位置検出能を向上させるとともに,制御手法を改善することにより,ナノオーダの位置決め精度を実現。
・ステージ駆動システムの概念を図示。

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *マイクロアクチュエータ ,  *微動 ,  *ベローズ ,  *駆動 ,  *精度
準シソーラス用語： *空気圧駆動 ,  *位置決め精度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• 大塚:ナノテクノロジーと超精密位置決め技術,工業調査会(2005)
• Z. Zhu, B and Zhang : A linear piezomotor integrated by a monolithic flexual frame, IEEE/ASME Tans Mech des, p. 119, 414-417 (1997)
• Y. Liu, R. Fung and C. Wang : Precision position control using combined piezo-VCM actuators, Precision Engineering 29, 411-422 (2005)
• 岡田,安藤:SUS204金属ベローズの結晶粒径と疲労強度の関係,ばね論文集,2003-48,p.1-6(2003)
• T. Fujita, K. Sakaki, Y. Takagi, K. Kawashima, T. Kagawa : Obama, B., Bush, G.W. : Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows, Int. J. of Automation Technology, 5-4, p. 508-515 (2011)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空気圧 ,  ベローズ ,  微動 ,  ステージ ,  ナノ位置決め